復合式凈化工程是將亂流式及層流式進行復合或并用，可提供局部潔凈的空氣?？梢苑秩悾簼崈羲淼?、潔凈管道、并裝局部潔凈室。

       1、潔凈隧道：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域覆蓋，使潔凈度等級增加至10級以上，可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔斷，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。

       復合式凈化工程的潔凈隧道另有二項優點：彈性擴充容易；維修設備時可在維修區輕易執行。

       2、潔凈管道：將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔斷，少量之送風就可以得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動化生產線為較適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

       3、并裝局部潔凈室：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級增加為10~1000級以上，以為生產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

       4、潔凈工作棚

       潔凈工作棚為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用單獨的HEPA或ULPA及空調送風機組而成為潔凈空間，其等級為10~1000級，長度在2.5米左右，覆蓋面積約10平方米以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運用。

       上述就是關于復合式凈化工程的一些介紹。